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在光學(xué)冷加工中，超聲波清洗機(jī)是如何實(shí)現(xiàn)清洗的？光學(xué)清洗工藝主要以干燥的方式命名，如 IPA 工藝，是指利用 IPA（異丙醇）進(jìn)行脫水干燥的清洗工藝， 純水工藝是指利用熱純水慢提拉或冷純水離心干燥的方式進(jìn)行干燥的清洗工藝，IPA 工藝包括四個(gè)流程：清洗、漂洗、脫水、干燥。X6型超聲波清洗發(fā)生器，KP系列超聲波振板廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)。

超聲波清洗過程分溶劑清洗和水基清洗，不同的清洗工藝：有的先進(jìn)行溶劑清洗、溶劑蒸汽干燥再進(jìn)行水基清洗；也有的先進(jìn)行溶劑清洗，再用乳化劑溶解溶劑，再進(jìn)行水基清洗的。無機(jī)光學(xué)玻璃是一種過冷的熔融態(tài)物質(zhì)，沒有固定的分子結(jié)構(gòu)，它的結(jié)構(gòu)式可描述為二氧化硅和某些金屬氧化物形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。其骨架結(jié)構(gòu)為鍵能很大的硅氧共價(jià)鍵，外圍是鍵能小、易斷裂的氧與金屬離子形成的離子鍵。

在超聲波清洗時(shí)，由于超聲場(chǎng)和化學(xué)清洗劑的共同作用，某些硅氧鍵含量少或者外圍鍵能特別小的的材料易于在清洗過程中發(fā)生變化而導(dǎo)致清洗效果不良。所以，選擇性能溫和的超聲波清洗劑、合適的清洗劑濃度、清洗溫度、超聲波功率、清洗時(shí)間對(duì)保證鏡片的清洗質(zhì)量十分重要。利用DI水逐級(jí)溢流的方式將清洗后鏡片表面的表面活性劑殘留和污染物溶解、去除的過程稱為漂洗。影響漂洗效果的因素有以下幾個(gè)：清洗劑的漂清性能，漂洗水的純度、溫度以及流動(dòng)性、超聲波頻率等。當(dāng)超聲波清洗頻率在 40KHz 時(shí)，在常溫下，電導(dǎo)率為 0.1μs/m 的純水可以保證漂洗的要求。

經(jīng)過漂洗后的鏡片表面的潔凈度應(yīng)和漂洗水潔凈度一致。當(dāng)它進(jìn)入 IPA 后，雖然 IPA 能和純水相溶，但在超聲波的作用下，這種混溶能進(jìn)行得更快速、徹底，從而使得鏡片表面的狀態(tài)和混溶后 IPA 相同。這一過程稱為IPA脫水。影響脫水的主要因素是IPA 的純度、超聲波頻率、脫水時(shí)間。一般 IPA 的最低濃度要高于 97%。IPA脫水后的鏡片進(jìn)入 IPA 蒸汽槽干燥槽，利用IPA沸騰產(chǎn)生蒸汽的一種干燥方式。

電阻率大于 15MΩ·M 純水在某一溫度下，表面張力能達(dá)到最大，漂洗后的鏡片浸入其中，表面不被潤(rùn)濕，在傾斜慢提拉離開時(shí)，由于極大的表面張力。純水迅速在表面收縮成球形離開鏡片，這種脫水方式稱為（慢提拉DI脫水）脫水后的鏡片在經(jīng)過高效過濾器HEPA(High efficiency particulate air Filter)的熱風(fēng)下而達(dá)到干燥，這一過程稱為:熱風(fēng)干燥方式所以，水的純度、溫度、慢提拉速度、工件的傾斜度、熱風(fēng)的潔凈度對(duì)干燥的影響非常大。離心干燥的工藝很簡(jiǎn)單：經(jīng)過純水漂洗后的鏡片放入離心甩干機(jī)中，在工件取得平衡時(shí)，啟動(dòng)甩干機(jī)，利用離心分離的原理將鏡片表面的純水分離達(dá)到干燥，對(duì)要求不高的鏡片能取得滿意效果，且能節(jié)省 IPA 和場(chǎng)地。但對(duì)甩干機(jī)的平衡性能要求很高。