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超聲波振板在太陽能電池硅片清洗中的應用
科力超聲【Kelisonic】

超聲波清洗是半導體工業(yè)中廣泛應用的一種清洗方法，該方法的優(yōu)點是：清洗效果好，操作簡單，對于復雜的器件和容器也能清除在強烈的超聲波作用下，液體介質內部會產生疏部和密部，疏部產生近乎真空的空腔泡，當空腔泡消失的瞬間，其附近便產生強大的局部壓力，使分子內的化學鍵斷裂，因此使硅片表面的雜質解吸。當超聲波的頻率和空腔泡的振動頻率共振時，機械作用力達到最大，泡內積聚的大量熱能，使溫度升高，促進了化學反應的發(fā)生。超聲波清洗的效果與超聲條件（如溫度、壓力、超聲頻率、功率等）有關，而且提高超聲波功率往往有利于清洗效果的提高，超聲波震板盒多用于清除硅片表面附著的大塊污染和顆粒。

硅片清洗工序是將線鋸機床切割完畢的硅片從玻璃上脫離下來，將膠條去除后，將硅片清洗干凈并分選出等級。清洗設備主要是預清洗機(脫膠機)和超聲波清洗機。預清洗機的主要清洗流程為: 上料-噴淋-噴淋-超聲波清洗-超聲波脫膠清洗-超聲波清水漂洗-下料。超聲波清洗機的主要清洗流程為: 上料-超聲波純水漂洗-超聲波純水漂洗-堿洗-堿洗-超聲波純水漂洗-超聲波純水漂洗-預脫水(慢提拉)-烘干下料。

硅片清洗機超聲波振板是一種利用超聲波空化現象進行硅片清洗的設備。由超聲波振盒。超聲波發(fā)生器、超聲波振子換能器組成。超聲波發(fā)生器產生高頻電能，PZT壓電陶瓷換能器將高頻電能轉換為機械能，清洗溶劑中超聲波在清洗液中疏密相間的向前輻射，使液體流動而產生數以萬計的微小氣泡，存在于液體中的微小氣泡（空化核）在聲場的作用下振動，當聲壓達到一定值時，氣泡迅速增長，然后突然閉合，在氣泡閉合時產生沖擊波，在其周圍產生上千個大氣壓力，數百度的高溫，利用閉合時的爆炸沖擊波破壞不溶性污物而使它們分散于清洗液中，當團體粒子被油污裹著而粘附在清洗件表面時，油被乳化，固體粒子即脫離，從而達到清洗附著在硅片表面的雜質和污垢，使其從硅片表面脫落這種振動能量能夠破壞附著在硅片表面的雜質和污垢，使其從硅片表面脫落。